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产品特性 / Product characteristics |
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采用新的测量方法，速率稳定性显着提高。 能力(CI值)测量提高了晶体板的异常检测能力。 出色的薄膜厚度和速率分辨率(0.0018À @5MHz)使其成为低速率沉积控制的理想选择最多可以同时控制 8 个元件。(添加选项时) 通讯方式兼容以太网和RS-232C CRTM-R1-EL上保存的各种日志数据可以以 CSV 格式传输到 USB |
