爱发科真空技术(苏州)有限公司
爱发科真空技术(苏州)有限公司是世界著名的真空设备制造商【株式会社ULVAC(爱发科)】在中国投资兴建的全资公司,于2003年7月在苏州工业园区设立,总投资1.035亿美元,注册资本3450万美元,占地面积七万多平方米。
主要为功率器件、化合物半导体器件(功率器件及射频器件)、传感器(MEMS、红外等)、光通信及光电器件、滤波器件(SAW/BAW)、薄膜电路等行业的企业、研究所及大学提供芯片生产及研发的相关设备,同时提供设备及周边产品的售后服务。工厂于2011年再度扩建,从2012年年初开始,为平板显示器,太阳电池等制造行业提供世界领先的先进设备。
公司由日本总部提供雄厚的技术支持,既拥有与日本总部同等的技术资源,又拥有国内设备供应商在价格、交期、售后服务等方面的综合优势,受到广大客户的一致好评和厚爱。
爱发科真空技术(苏州)有限公司的经营内容: 1. FPD(平板显示器)设备、真空设备的制造与销售:用于显示器,太阳能电池制造设备的生产,主要为功率器件、化合物半导体器件(功率器件及射频器件)、传感器(MEMS、红外等)、光通信及光电器件、滤波器件(SAW/BAW)、薄膜电路等行业的企业、研究所及大学提供芯片生产及研发的相关设备等行业芯片生产及研发的高真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、化学气相沉积、等离子刻蚀、干法去胶、离子注入等设备的制造和销售 2. 机械加工业务:提供平面类,腔槽类,主阀类,大型腔体,不锈钢,铝,钛等大型零部件的加工与生产 3. 设备及周边产品的售后服务:提供设备的安装调试、维修保养、以及周边零部件的销售服务工作
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2002年
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爱发科苏州试制第一台设备成功EBX |
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2003年
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爱发科真空技术(苏州)有限公司奠基成立 |
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2005年
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第一台半导体镀膜设备(ei-5)交付;二期工厂开工建设 |
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2010年
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三期工厂开工建设 |
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2011年
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四期工厂开工建设 |
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2013年
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第一台触摸屏保护层镀膜设备(UIdis)交付;第一台太阳能镀膜设备(CCV)交付 |
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2014年
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第一台自主研发半导体设备(ESZ)交付 |
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2016年
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第一台国内最大平板显示镀膜设备(SMD)生产 |
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2017年
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第一台设备出口美国 |
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2018年
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第一台脱气设备(MDH-2500)交付 |
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2019年
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第一台干法刻蚀设备(ULET-200)交付 |
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2020年
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第一台卷取式蒸着装置(EWE-110)交付 |
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2021年
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第一台高精密度蒸发设备(EI-9)交付 |
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2022年
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第一台离子注入设备(IH-860)交付 |
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2023年
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爱发科真空技术(苏州)有限公司20周年庆典 |
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2024年
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第一台高真空蒸发镀膜设备(Esz-X)交付 |
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2025年
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第一台小型多功能磁控溅射镀膜设备(QAM-4W)交付 |
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独创性的商品开发 |
生产技术的革新 |
增进客户的满意度 |
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利用平板显示器生产技术、半导体生产技术等独创技术的开发,成为引领世界装置技术的先进企业。从尖端材料开发到工艺革新等对技术的重视,确保了ULVAC 的DNA不断进化。 |
通过加强标准化管理实现业务规范化,采取单元化等措施进行生产技术革新,在顾客产品开发的早期阶段,以合理的价格提供产品。实实在在开展生产技术革新,在不断激化的成本竞争中取得最后的胜利。 |
迅速、灵活地适应顾客复杂、专精的生产工艺革新,成为最好的综合解决方案供应企业。 |
依法治理,清洁生产,全方位地预防和控制污染;节能降耗,倡导绿色,承诺环境行为和体系的持续改进





