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零部件：冷泵
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零部件：膜厚仪
采用新的测量方法，速率稳定性显着提高。能力(CI值)测量提高了晶体板的异常检测能力。出色的薄膜厚度和速率分辨率(0.0018À@5MHz)使其成为低速率沉积…
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零部件：真空计
实现了尺寸的大幅缩小(控制器体积缩小56%)，成为同级别最小的产品之一，通过与PC/智能手机的连接，可以进行设定点设置、状态确认等。
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零部件：检漏仪
维护面板可以轻松拆卸，轻松接触到每个部件，还提供操作程序注释画面除氦气外，还可以检测氢气
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零部件：电子束蒸发源
电子束蒸发源
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