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首页 > 应用范围 > FPD&PV制造设备
FPD&PV制造设备 半导体设备制造 真空配套零部件
  • 溅射设备：SMD 系列 SMD 系列
    这是拥有1400台以上销售业绩的SMD型号纵型inline溅射镀膜设备。主要用于大型显示器领域，可沉积金属膜、ITO、IGZO、介电膜等薄膜。
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  • 溅射设备：SCH 系列 SCH 系列
    适用于多种材料（ITO、Ti、Cr、Ni、Cu、In、Ag、CuGa、Mo等）的成膜，可对应多种尺寸基板。通过采用ULVAC独有的传送系统，实现了优异的成本效益。是兼具…
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