溅射设备：SCH 系列

适用于多种材料（ITO、Ti、Cr、Ni、Cu、In、Ag、CuGa、Mo等）的成膜，可对应多种尺寸基板。通过采用ULVAC独有的传送系统，实现了优异的成本效益。是兼具高灵活性与广泛适用性的inline式溅镀设备。

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13913550251（沈先生）

产品特性 / Product characteristics

• 借助储料室实现连续自动化生产

• 低成本，通过型成膜

• 节省空间并减少排线

• 搭载载具传输系统，适用多种基板尺寸

• 垂直镀膜（向上或向下）

• 高效高沉积速率

• 带移动磁铁的平面阴极（可选旋转阴极）

• 维护便捷

产品应用 / Product application

• 太阳能电池行业、光学掩模板、显示面板等