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溅射设备：SMD 系列

这是拥有1400台以上销售业绩的SMD型号纵型inline溅射镀膜设备。主要用于大型显示器领域，可沉积金属膜、ITO、IGZO、介电膜等薄膜。

具体购买政策请致电：
0512-86669111-8150 李女士
13913550251（沈先生）



产品特性 / Product characteristics



• 依托丰富的经验与数据，可应对广泛的成膜工艺

• 高生产效率

• 低Particle

• 引入自动成膜工艺调优技术


Model

G8.5～G8.6

SMD-2400

基板尺寸（mm）

2200 x 2500～2290 x 2620

成膜方式

采用侧向沉积方式，基板固定成膜

装置构成

1） 基板接受/取出室

1个

2）装载腔

1个

3）加热腔

1个

4）溅射腔

最多4个

真空排气系统

分子泵、冷阱

基板搬送系统

托盘搬送基板，搬送系统可选择磁悬浮或滚轮



产品应用 / Product application



• 大型显示面板行业


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