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产品特性 / Product characteristics |
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• Loadlock式，自动运行，操作简单 • 成膜面积大，均匀性好 • T/S距离60～180mm可调，适用广 • 可换托盘式，基板尺寸切换简便 • 2～8inch，方片，未定型片，切换兼容 • 向上溅射，向下溅射可选，颗粒抑制 |
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产品应用 / Product application |
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• 半导体，LED，电力电子，高校及研究所等。 |
