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产品特性 / Product characteristics
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• 金属，合金，非金属，化合物等材料的高品质蒸发镀膜 • 4个DOME配置，更大产能，更高金属利用率。 • 可实现厚膜蒸发~50um级别 • 可配置热阻蒸发与不同容量蒸发坩埚 • 镀膜的均匀性好，重复性优异 • 镀膜精度可监控0.01 Å/S • 可配置上位通信，材料扫描功能 • C2～12inch，不定型片，方片蒸发
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产品应用 / Product application
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• 功率器件 • 先进封装 • 光通信/传感器 |
