溅射设备:SIV-500

用于particle抑制的通过型竖直溅射,可实现基板往复或line式搬送,多用于SiO、SiN等光学薄膜溅射,亦可用于金属溅射。

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13913550251(沈先生)



产品特性 / Product characteristics



• 竖直搬送基板低particle产生

• 省空间设计

• 形成膜条件多腔体单独控制

• 根据成膜物质种类制定专用阴极



产品应用 / Product application



• LED

• MEMS



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