溅射设备:SIV-500

用于particle抑制的通过型竖直溅射,可实现基板往复或line式搬送,多用于SiO、SiN等光学薄膜溅射,亦可用于金属溅射。

具体购买政策请致电:
0512-86669111-8033(张小姐)
13913550251(沈先生)



产品特性 / Product characteristics



• 竖直搬送基板低particle产生

• 省空间设计

• 形成膜条件多腔体单独控制

• 根据成膜物质种类制定专用阴极



产品应用 / Product application



• LED

• MEMS



CopyRight 2020-2022 Inc. 爱发科真空技术(苏州)有限公司   苏ICP备案号12004487号-1testtest 网站地图