溅射设备:SME-200

全自动多工艺对应用最大搭载7个工艺腔的溅射设备,可实现多种类材料溅射,诸如高温成膜(PZT等)、高精度侧壁成膜、光学膜、化合物膜、合金膜等。枚叶式设计,可实现多工序溅射,同时有效抑制溅射中产生的高温。

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13913550251(沈先生)



产品特性 / Product characteristics



• Φ200mm可搬运基板

• 作为处理室,阵容多样的模块

• 介质用模块

• 高温成膜模块

• 精密分布模块

• 蚀刻模块



产品应用 / Product application



• 电子零件

• MEMS

• Power Device

• LED


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