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产品特性 / Product characteristics
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• Φ200mm可搬运基板 • 作为处理室，阵容多样的模块 • 介质用模块 • 高温成膜模块 • 精密分布模块 • 蚀刻模块
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产品应用 / Product application
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• 电子零件 • MEMS • Power Device • LED
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