蒸发设备:蒸发Ei系列 ei-5z

1.Batch式高真空蒸发设备ei系列是可对应在基板上成金属膜或氧化物膜的设备。可通过操作面板进行集中控制,实现抽真空、成膜等作业内容的集中自动化操作,适用于研究开发及少量生产
2.蒸发材料:金属,ITO,二氧化硅等材料

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13913550251(沈先生)



产品特性 / Product characteristics



• 金属,合金,非金属,化合物等材料的高品质蒸发镀膜

• 镀膜精度高,可达10E-10m

• 蒸发镀膜的纯度高,附着力强

• 镀膜的均匀性好,重复性优异

• 配置离子源进行表面处理

• 配置热阻蒸发,省材料

• 上位通信,材料扫描功能

• C2~12inch,不定型片,方片蒸发



产品应用 / Product application



• 功率器件

• LED

• 光通信/传感器

• LD

• 高校及研究所等


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